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中圖SJ6000激光干涉儀
激光干涉儀以光波為載體，其光波波長可以直接對(duì)米進(jìn)行定義，且可以溯源至國家標(biāo)準(zhǔn)，是迄今公認(rèn)的高精度、高靈敏度的測(cè)量儀器，在高端制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。
SJ6000激光干涉儀具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、最高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。在SJ6000激光干涉儀動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下，可實(shí)現(xiàn)線性、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè)，以及進(jìn)行位移分析、速度分析、加速度分析、FFT分析，如絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、振動(dòng)分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。
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