SuperViewW1光學(xué)3D表面輪廓儀是一款用于對(duì)精密器件表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量的檢測(cè)儀器。它是以白光干涉技術(shù)為原理,結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過(guò)系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌測(cè)量的光學(xué)檢測(cè)儀器。該儀器具有測(cè)量精度高、使用方便、分析功能強(qiáng)大、測(cè)量參數(shù)齊全等優(yōu)點(diǎn),其獨(dú)特的光源模式,保證了它能夠適用于從光滑到粗糙等各種精密器件的表面質(zhì)量檢測(cè)。
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